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四氟甲烷.亦称四氟化碳.全氟化碳.PFC-(R-).分子式:CF.相对分子量:..在常温下.四氟甲烷是无色.无臭.不燃.不溶于水的可压缩性气体.沸点:-℃.熔点:-.℃.液体密度(-℃).g/cm.临界温度-.℃.临界压力.Mpa.蒸气压(-.℃).kPa.介电常数(℃..Mpa)..挥发性较高.是最稳定的有机化合物之一.在摄氏度时.不与钢.镍.钨.钼反应.仅在碳弧温度下缓慢分解.微溶于水.在摄氏度及.Mpa下其溶解度为.%(重量比).然而与可燃性气体燃烧时.?会分解产生有毒氟化物.危险性类别为第.类不燃气体.
用途
四氟甲烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体.其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气.可广泛应用于硅.二氧化硅.氮化硅.磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻.在电子器件表面清洗.太阳能电池的生产.激光技术.气相绝缘.超低温制冷剂.泄漏检验剂.印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用.
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