原料气首先通过催化反应器,由高效催化氧化剂氧化脱除氢、一氧化碳、甲烷(烃类)等杂质,然后通过除氧器由脱氧剂脱氧,终通过吸附器吸附微量水、二氧化碳,得到高品质的高纯气体。
如气体纯度要求达到>99.999%,则采用专门用于净化气体的活性金属合金吸收残余的氮气中杂质,得到超高纯气体
设备性能与指标
1、处理气量:1―3NM3/hr
2、原料气:?液氩99.99%?O2<5ppm?露点<-45℃
H20<1ppm?CO2?、CO<2ppm
3、净化后气体质量:
O2<1ppm?H2<1PPm?CO<1ppm?CO2<1ppm
露点<-76℃?尘埃<100?级
4、操作压力:?0.8Mpa
5、操作温度:
反应温度:280―320℃?干燥温度:300―320℃
6、电能耗量:
3.0KW(反应器1.5?千瓦长期使用干燥器只有干燥再
生使用)
7、冷却水:水温15℃左右,水耗量0.2T/hr
8、外型尺寸:宽×深×高(mm)?750×650×1550
?
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