韩国TK超高纯在线式气体过滤器

TKSCT气体过滤器系列有:
哈式合金气体过滤器
不锈钢气体过滤器
PTFE气体过滤器
IGS气体过滤器
陶瓷气体过滤器?
材质结构
超高纯在线式过滤器 ?■哈式合金气体过滤器全哈氏合金结构 ?■ 高温及动态压力测试? ■ 不锈钢气体过滤器全L不锈钢结构 ?■ 尺寸紧凑.可变的末端连接? ■ PTFE气体过滤器滤芯为PTFE材质,本体材质为L.内部电解抛光 ■ IGS气体过滤器具有高可靠性耐冲击和震动 ■陶瓷气体过滤器内部为L 电解抛光处理 ?广泛应用于化学品行业
?产品特性
&＃; 流量大.-SLPM
&＃; 受腐蚀的部位采用哈氏合金.适用于惰性气体及腐蚀性强的气体
&＃; 卓越的性能满足大多数半导体工艺气体
&＃; PTFE材料具备良好的抗腐蚀性能及兼容性
&＃; 过滤等级为.μm.即使在高流速的情况下.也不会引起出口端压力的下降
&＃; 内部抛光等级为Ra.防止其内部污染
&＃; 通过高温氮气及去离子水清洁.满足半导体行业的标准
&＃; 清洁及包装在级洁净室内
&＃; %氦气检测
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