ECMA

ECMA-EPS.ECMA-EPS.ECMA-EPS.ECMA-EPS气氛压力控制:包括气体流量控制.真空系统及压力控制阀
()控制系统:包括侦测感应器及电脑控制系统
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加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长
()加料:将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内.杂质的种类依电阻的N或P型而定.杂质种类有硼.磷.锑.砷.
()熔化:加完多晶硅原料于石英埚内后.长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内.然后打开石墨加热器电源.加热至熔化温度(℃)以上.将多晶硅原料熔化.
()缩颈生长:当硅熔体的温度稳定之后.将籽晶慢慢浸入硅熔体中.由于籽晶与硅熔体场接触时的热应力.会使籽晶产生位错.这些位错必须利用缩劲生长使之消失掉.缩颈生长是将籽晶快速向上提升.使长出的籽晶的直径缩小到一定大小(-mm)由于位错线与生长轴成一个交角.只要缩颈够长.位错便能长出晶体表面.产生零位错的晶体.
()放肩生长:长完细颈之后.须降低温度与拉速.使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小.
()等径生长:长完细颈和肩部之后.借着拉速与温度的不断调整.可使晶棒直径维持在正负mm之间.这段直径固定的部分即称为等径部分.单晶硅片取自于等径部分.
()尾部生长:在长完等径部分之后.如果立刻将晶棒与液面分开.那么效应力将使得晶棒出现位错与滑移线.于是为了避免此问题的发生.必须将晶棒的直径慢慢缩小.直到成一尖点而与液面分开.这一过程称之为尾部生长.长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出.即完成一次生长周期.单晶硅炉整机如下图:
-.技术需求和方案分析
单晶硅炉上面共需要四个轴驱动.其中个使用的是伺服控制系统.另外个使用的是直流驱动装置实现,该设备根据工艺需要.设备分为炉架.主炉室.副室.提拉旋转机构.下随动机构及液压提升机构.真空及气路系统.水冷系,新供应信息-尽在五金商机网

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