爱德华罗茨泵 EH

应用

・ 半导体制程

・ 真空蒸馏

・ 真空包装

・ 钢脱气

・ 薄膜覆层

・ 真空冶金

・ 低密度风洞

・ 空间模拟

・ 真空浸渍

・ 油干燥和脱气

・ 制药冷冻干燥

・ CO 激光

功能和优势

・ 适用于在 . 至 mbar/. 至 . Torr 的压力范围下.需要超过 mh^-/ ftmin^- 的高抽速的应用场合.

・ 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性.

・ EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置.这可提供:

o? 安静的无振动运行.

o? 牢靠且防腐蚀.

o? 先进的轴封技术.处理舱中不会出现油污染

・ 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造.

・ 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子.并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门.因此可将维护要求降到最低.

・ 轴封的设计经过优化.可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中.这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能.此外.这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒.

・ 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳.运行噪音小.而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的.
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