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法国阿尔卡特ALCATEL真空泵油 A A A? A
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英国爱德华BOCEDWARDS真空泵专用油 UL UL? UL? UL
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德国莱宝LEYBOLD真空泵专用油? N? GS? GS? NH? LVO LVO LVO VLO LVO LVO LVO
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德国普旭BUSCH真空泵专用油? VM? SD? VM? VM?
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德国里其乐/伟力RIETSCHLE真空泵专用油 MULTI-LUBE? MULTI-LUBE?
合成油 SUPER-LUBE
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爱发科ULVAC真空泵油? ULVoilR- ULVoilR-? SMR-
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法国阿尔卡特ALCATEL真空泵油 A A A
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贝克BECKER真空泵油? F O-? LUBE-M
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半导体工业在硅片加工过程中.必须使用真空泵.真空泵油通常有两种: 碳氢化合物油(Hydrocarbon)与全氟聚醚油(PFPE).碳氢化合物油极易燃烧.化学结构不稳定.容易降解.使得润滑性能容易降低.从而导致真空泵出现故障.尤其因频繁地更换真空泵油.包括停机维修时间的增加.而影响生产效率.而且.碳氢化合物油的可燃性也导致安全隐患.频繁更换真空泵油.存在大量的废弃物.对于环保方面是非常不利的.总之.许多方面均会导致运行成本的上升.
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