CVD炉

化学气相沉积炉主要配置

u 炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧

u 炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

u 炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC

u 加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

u 工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产

u 真空泵和真空计---进口/国产

u PLC：欧姆龙/西门子

u 控温仪表：日本岛电/英国欧陆

u 热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号

u 记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产

u 人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机

u 电器元件：正泰/施耐德/西门子

u 料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车

化学气相沉积炉技术特征

n 本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；

n 本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；

n 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

n 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

n 本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

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