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LED UV光刻光源


光刻技术在半导体集成电路制造工艺中无论是从资金.技术.人员来看.有着举足轻重的地位.集成电路技术的发展始终是随着光学光刻技术的不断创新所推进的.深圳市蓝谱里克科技有限公司.致力于提供紫外线全行业解决方案.我们的芯片光谱覆盖紫外全波段nm nm nm nm nm nm nm nm nm.在集成电路制造领域我们进行了长期的探索和研究.研制开发了系列光刻光源产品.在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用.随着研究进一步深入.我们的产品系列会更加完善!
产品优势
. LED UV光谱集中.能量集中
. 专利光学配光.保证光照均匀
. 大功率芯片集成.保证紫外能量充足
. 冷光源照射.热辐射很小
. 即开即关.无需预热
. 设计简洁易集成
. LED使用寿命长.耗电少.维护和运营成本更低?
. 不含汞成分.环保低碳
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技术参数
五金
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