准分子激光器用途日益扩大

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准分子激光器用途日益扩大
目前.(激光二极管)准分子激光器有三个主要的用途:LASIK眼科手术.平板显示器退火.和半导体微光刻.不过.准分子市场的其他部分也是很重要的.包括了许多不同的加工和行业.从对眼镜打标到加工柴油机汽缸套.到电子工业中的打孔都使用了该技术.然而.这[三大"主要的应用有专门的模型.这些模型被优化以满足行业中已很好确立的性能参数.在大量不同的应用中对激光条件有着广泛且多样的要求.这是因为对于一个给定的材料和波长.要进行有效的材料加工就需要在主要的准分子激光性能.脉冲能量(对加工对象的影响).和重复频率之间得到正确的平衡.欢迎光临公司**http://www.dilas.com.cn
独特的性能

准分子激光器输出的矩形光束其最大的尺寸可以达到几个厘米.这一特性.与准分子激光器的高脉冲能量和低重复频率相结合.使得准分子激光器很适合与光掩膜技术结合在大范围内加工得到大量重复的图案.与此相反.由许多固态激光器得到的光束通常被聚焦成小光斑.并用振镜进行扫描.这个技术被称为直接写入法.直接写入法具有的点状的本质让它具有特有的应用范围.比如.圆晶的划线和晶粒的切割.然而.直接写入式微加工其劣势在于.它无法以固定的深度来去除较大面积的材料.因为小光束的逐行扫描会留下刻痕.
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