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目前国外广泛使用的清洗方法是紫外（UV）光清洗，它一方面能避免由于使用有机溶剂造成的污染，同时能够将清洗过程缩短。
而用普通石英生产的低压汞的洗净效果远远小于用合成石英制成的低压汞灯。
光谱有：254nm和185nm两种，不同光谱灯管作用也不相同。
功率：4W-200W不等。
外型：U型、W型、N型、G型、盘型等。
有效使用寿命：1000小时 ?
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