PECVD尾气处理设备(SCRUBBER)

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加热燃烧喷淋水洗式? PECVD尾气处理设备(SCRUBBER)半导体尾气处理设备

尺寸:长×宽×高

类型:加热水洗式

处理能力:升/分钟

排污方式:自然排+泵强排

喷淋室:加压喷射

水处理方式:泵循环+自来水

冷却方式:动力冷却循环水

电源:V.A

该设备主要应用于半导体行业.TFT-LCD行业以及太阳能光伏行业中的蚀刻与CVD制程.主要处理气体包括刻蚀与化学气相沉积制程中常见的有毒腐蚀气体.包括SiH.SiHCL .PH.BH.TEOS.H.CO.NF.SF.CF.WF.NH.NO等.在业界有应用广泛.无粉尘积聚问题 维护简便 采用防腐蚀材料与技术 采用循环系统减少水量消耗.运行与维护方便且成本低. 根据废气的不同性质.尾气处理方式: □湿法处理(Wet Scrubber):水喷淋吸收溶解,如NH.CL.HCL.BCL.HBr等处理 □热湿处理(Thermal & Wet Scrubber):燃烧或电加热及湿法喷淋处理.能够完全彻底处理废气.如SiH.Geh.TEOS.DCS.PH .CF.H.WF等处理 北京邦联成科技有限公司 T:- F:-
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