仪器主要特点及性能指标
大屏幕点阵汉化液晶(可配备彩色触摸屏)显示.支持中英文切换.
全电子气路(EPC)控制及手动气路控制可选.网络化通讯(采用以太网接口IEEE.).电脑联机全控操作.
手动气路方式:
手动气路控制压力及流量显示方式:压力表指针显示.流量数字读数(T型配置)和电子压力及流量测量显示方式(E型配置.压力机流量电脑软件显示)可选.
全电子压力.流量测量系统:最大测量路数路.
压力传感器:
准确度:满量程的<±%
重现性<±.Kpa
温度系数<±.Kpa/℃
量程-.Kpa或-.Kpa
流量传感器:
? 准确度:满量程的<±%
? 重现性<±.%(满量程)
? 量程:-sccm
电子气路EPC控制方式(A型配置)
EPC电子气路控制精度. mL/min或.Kpa.保证了更好的保留时间重现性.更一致可靠的结果.
EPC工作模式:恒流.恒压.分流模式.
程序压力控制:阶
EPC工作气体:N.H.Air.He
EPC控制量程:压力-.Kpa 流量-sccm或-sccm
EPC控制精度:压力.Kpa,流量.sccm
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