BROOKS流量计 E

?
BROOKS流量计 E

流量范围

相当于- sccm到- sccm氮气(N)的范围

在SEMI(半导体设备和材料协会)标准压力和温度(oC和kPa)条件下测得

注:满程流量范围大于 sccm

性能:校准后为满量程±%.大于slpm时为满量程±.%.

可重复性:.%

控制范围::

安装状态灵感度:复零后.比指定精确度误差不到±.%量程.

温度敏感度:零点:小于±.%量程每摄氏度

量程:比最初校准刻度小±.%量程(在-摄氏度)

压力敏感度:±.%每psi到psig(N)

输出电压:-伏直流(K欧姆的输出电阻)

输出信号:输出-伏直流到欧姆或更高的负荷

输出±.伏直流(参考).最大负荷欧姆

最大操作压力:psig ;-psid压损(最小压损根据气体和周围环境具体而定)

温度.外界/气体:-oF(-oC)

完全泄漏.外界:×^-cc/s

功率要求:常闭阀(或常开阀/流量≤.slpm)

? .瓦特.直流伏◎mA,-伏@mA

? 常开阀/流量>.slpm

? .瓦特.直流伏◎Ma,-伏@mA

构造材质:

标准接液部分采用不锈钢材质.可供选择的还有;Kalrez或Buna-N

连接:

硬件连接:标准/-UNF不锈钢压力接头(Swagelok).可选:VCO或VCR

电气连接:卡连接器(镀金)或D型连接器(DA-P)
,新供应信息-尽在五金商机网

如因作品内容、版权和其它问题需要同本网联系的，联系邮箱：pitechan@foxmail.com。