材料微观形貌/表面粗糙度/薄膜厚度/薄膜应力/薄膜/涂层结合力测试系统

（1）非接触式测量，测试速度更快，一般一个样品测试时间<30 seconds;
（2）高度方向上0.1nm-10mm全量程闭环扫描，可以保证机器在测试起伏大的样品的平面度时实现分辨率0.01nm的测量。

（3）高度方向上的重复性可达到0.004nm ，而且重复性更好。

（4）在不同放大倍率的镜头下能保持一样高的亚纳米分辨率。

（5）XYZ三轴自动，可实现多点编程自动测量。

（6）可实现图像拼接功能，具备螺旋式拼接方式，针对圆形样品，拼接效果更佳。

（7）双LED光源，对低反射率样品效果更佳。

（8）电脑采用Intel双核64位处理器, window7的操作系统;数据处理速度更快。

（9）具备物镜防撞保护功能。

（10）激光自校准。

应用：
? 对LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，提供全方位非接触式测量方案，样品从小至微米级别的微机电器件（MEMS），大到整个引擎部件，都可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓等精准数据

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