PVD/真空镀膜/物理气相沉积/丹顿DENTON蒸发镀膜系统

PVD/真空镀膜/物理气相沉积/丹顿DENTON蒸发镀膜系统-Integrity
美国丹顿真空设备有限公司是世界知名真空镀膜设备制造商，成立于1964年。
丹顿是美国军方签约的设备供应

商，为美国军品研发和制造提供真空镀膜设备。
作为美国老牌“军工”企业，丹顿真空以设备的实用性和可靠

性见长。
目前，丹顿真空已为全球客户设计制造了总数超过5千台的各种规格的电阻/电子束蒸发、磁控溅射、

离子束溅射/刻蚀和等离子体化学气相沉积镀膜系统，产品广泛应用于科研开发、小规模制造和工业生产等领域

。

Integrity? 镀膜设备系列是丹顿真空历史最长的产品，应用于精密光学以及半导体，微电子等行业镀膜，为世

界范围内诸多知名的生产、研究机构所青睐。

丹顿Integrity?蒸发镀膜系统可为您提供一个功能强大、配置灵活的镀膜平台，并提供充分的选择以满足您特

定的应用要求。
系统真空室的直径范围从500mm到2m，配置灵活，稳定可靠。
可以配置多种蒸发源、辅助离子源

和光学监控，采用全自动控制，实现工艺的稳定性。
系统坚固耐用，维修率低，且具有远程诊断功能，实现快

速技术支持后售后和服务。

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